某半导集成ic制作业厂在晶圆工作过程中 中，用硅烷实现硅外加生长期，废气排放洗條塔引起高溶液浓度含硅废污水。废污水具备有pH起伏大（2-11）、硅浓度高的结构特征，常用整理技术易出现了硅垢堵住了情况。 工业废水材料及来源于 废水处理工艺主要的化学成分为： 降解性硅酸盐 ：SiO₂盐浓度达1000-1500mg/L 浓盐酸/氢氧化物钠 ：清洗塔酸碱性清洗液杂质 颗粒状硅 ：nm级SiO₂溶液 痕量砷 ：制造原材料硫氰酸盐进入 治疗加工制作工艺 注意事项 不断创新利用"两极采和+膜滤过+挥发析出"工序： 一层中合 ：用CaO调理pH至4-5，转换硅酸钙沉积，硅的还原率60%。 特殊采和 ：加Na₂CO₃将pH不断提升至9，进每一步乳浊液剩下的硅，电容串联用镁剂除砷。 超滤膜系统化 ：0.02μm工业陶瓷膜过滤装置納米级硅粉末，通量稳定可靠在80LMH。 MVR汽化器 ：精提高盐化工废水，析出出Na₂SO₄副食品，水工业废水处理率超90%。 既定视觉效果 总硅从1500mg/L降下来5mg/L下类 砷成分从0.8mg/L高于0.01mg/L 设计无积灰正常运作大于2年 每人每年回收分类处理氢氧化钾钠结晶约800吨