某光电器件制作业品牌因晶圆洗工艺程序导致含氨工业废水,出水量200吨/天。工业废一般的水都除挥发酚外还富含氟化物和进样器高价属,清理麻烦大。地方排放量标淮特殊要求挥发酚<5mg/L,氟化物<3mg/L。
电镀废水材料及的来源
晶圆洗掉化工废水(主耍主要来源):含化学需氧量200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀工艺程序电镀废水:含进样器铜、镍等巨资属,pH值跌涨大
CMP抛光废水处理:含硅颗粒状及氟化物
外理工艺设计工作流程
选择"无机化学沉淀物+膜剥离 +折点氯化"搭配组合的工艺:
预处置
:添加CaCl2除氟,调节pH在7.5-8.
反渗透膜装置
:我们要除0.01μm超过粒子物
反侵入浸提
:将氯离子沉淀至1000mg/L以下
折点氯化
:准确度掌控氯加药系统量,将氧化还原电位和转化了为氦气
化合物交易
:保驾护航高价属符合标准
然后特效
化学需氧量不稳定性<3mg/L,氟化物<1mg/L
天价属含锌量少于探测限
水循环率达75%
飞灰所产生量削减40%